山东省推动智能传感器产业高质量发展行动计划（2021-2023年）

　　传感器技术是决定未来信息技术产业高质量发展的核心与基础之一，与通信技术、计算机技术并称为新一代信息技术的三个重要组成部分。随着5G、人工智能、物联网、大数据、云计算等技术的迅猛发展，以万物互联、万物智能为特征的新一轮技术革命已经到来，作为与外界环境交互的重要手段和感知信息的大多数来自，智能传感器产业高质量发展迎来巨大的历史机遇。为全方面提升智能传感器产业核心竞争力，推动产业高质量发展，保障信息安全，结合我省实际，制定本行动计划。

　　从全球看，当前智能传感技术创新势头迅猛，基于新材料、新原理、新工艺、新应用的产品不断涌现，全球产品化的传感器大约有2.6万种。敏感材料、MEMS芯片、驱动程序和应用软件等智能传感器核心技术的慢慢的提升，促进了智能传感器的快速发展和应用。世界主要工业强国均已在智能传感领域谋篇布局，欧洲、美国、日本等已拥有非常良好的技术基础，产业上下游配套成熟，几乎垄断了“高、精、尖”智能传感器市场，并呈现快速地增长态势。

　　从全国看，我国智能传感器市场空间广阔，创造新兴事物的能力慢慢地加强，已形成涵盖芯片设计、晶圆制造、封装测试、软件与数据处理算法、应用等环节的完整产业链，已初步形成了长三角、珠三角、京津冀以及中西部重点城市集聚发展的产业空间格局，产品有效供给、技术创造新兴事物的能力、产业生态等将进一步实现突破，向着智能化、网络化、集成化的方向加速发展。

　　从省内看，我省传感器产业经过近些年的发展打下了良好基础，极具发展的潜在能力，拥有智能传感器企业70余家，2020年实现主要经营业务收入109.1亿元，在声学、压力和非制冷红外传感器等领域具有比较突出的行业地位和竞争力。声学传感器出货量居全球第一位，市场占有率超过40%，压力传感器在消费类领域市场占有率居全球第三位，高端非制冷红外成像核心芯片填补国内空白。但是，由于我省智能传感器产业起步较晚，和国内领先水平相比还有一定差距，目前正处于由传统型向智能型发展的关键阶段，在部分领域加快速度进行发展的同时，仍面临着顶层规划缺失、技术创造新兴事物的能力不强、市场竞争力不足、产业生态不健全等问题。

　　以习新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻落实习视察山东重要讲话、重要指示批示精神，按照“紧盯前沿、延链谋划，龙头牵引、培育壮大，打造生态、集群发展”的思路，聚焦消费电子、汽车电子、工业控制、医疗电子、航空航天、人工智能、智能家电等重点行业领域，开展智能传感器核心技术攻关，推动智能传感器产业链上下游协同发展，提升智能传感器产业链整体竞争力，为推动全省新一代信息技术产业高水平质量的发展，培育壮大现代产业体系提供坚实支撑。

　　经过三年发展，我省智能传感器产业取得明显突破，创造新兴事物的能力和技术水平走在全国前列，产品结构一直在优化，供给能力有效提升，产业竞争能力达到国内一流。

　　——产业规模快速壮大。到2023年，智能传感器主要经营业务收入达到300亿元。紧抓物联网加快速度进行发展、智能传感器市场爆发增长、技术创新高度活跃的战略机遇期，做大做强一批智能传感器设计、制造、封测和系统集成的龙头骨干企业，带动形成千亿级产业规模。

　　——产业链条持续完善。关键环节配套水准不断提升，产业协同发展能力日益增强，努力打造国内一流、具有国际竞争力的产业集群，基本形成结构符合常理、生态完善 的智能传感器产业体系。

　　——产业布局一直在优化。引导智能传感器产业开展合理布局和资源整合，智能传感器产业布局逐渐完善，依托重点项目建设，推动产业链向高端延伸。

　　——创造新兴事物的能力明显地增强。一批智能传感器核心技术获得突破，行业总体创新投入逐步提升，实现智能传感器及微系统模组的研发和产业化。协同创造新兴事物的能力逐渐增强，创建、培育一批院士工作站、制造业创新中心、研发技术中心等创新载体。

　　依托各市产业基础，发挥国家集成电路设计济南产业化基地、青岛崂山微电子产业园、中德生态园集成电路产业基地、淄博电子信息产业园、烟台光电传感产业园、潍坊声学光电产业集群等集聚优势，加大有突出贡献的公司支持力度，积极发展芯片设计、封装测试、算法开发、系统集成等领域，全力支持声学、压力、气体、温度、红外、生物医学等传感器突破发展。重点建设青岛声学智能传感谷和烟台光电智能传感产业基地。

　　青岛。打造国内领先的声学智能传感谷。依托微电子研究院，集聚全球研发人才，推动建设总部级研发中心，围绕材料、芯片、器件、算法、智能装备及先进封装等展开技术攻关，重点聚焦智能家电、消费电子领域有突出贡献的公司供应链建设，加快提升智能传感器领域设计、制造、封测能力。围绕培育智能传感器产业生态，瞄准国际国内领先水准，以崂山区、城阳区为核心区域，以西海岸新区、即墨区、胶州市为支撑，高起点、高标准推动智能传感器产业集聚、链式、协同发展。

　　烟台。打造光电智能传感产业基地，建设微纳制造制造业创新中心。支持烟台聚焦红外传感器、MEMS传感器、气体传感器、半导体激光器、太赫兹探测器、微波器件等重点领域，高标准建设光电传感研究院，培育涵盖集成电路设计、材料、封测、装备研制及应用为一体的完整产业链和产业集聚区，建成对全国的智能传感器公共服务平台，为研究院所、公司可以提供研发和中试服务。支持重点企业开拓气体传感、惯性传感、水质传感 等领域新的技术及应用，放大带动效应，建设较为完整的传感器产业集群。

　　济南。依托重点企业智能传感器封测技术基础，提升MEMS传感器及模组封装技术，形成规模化封装测试代工能力。积极引进智能传感器产业链上下游配套企业，推动由智能传感器封装向模组、设备、系统和解决方案等产业延伸，形成以MEMS传感器封测为特色的产业聚集区。

　　淄博。依托重点企业和传感器研究院，落实“高端引领、深化应用、铸建链群”的思路措施，建设集MEMS芯片设计研发、工艺加工、封装测试、产品应用和配套服务等为一体的综合性研发产业基地。快速推进基于MEMS微加工技术的压电陶瓷扬声器、压电陶瓷喷墨头、编码器等项目的产业化。

　　潍坊。依托重点企业声学传感器研发、生产技术，结合现有发展优势，发展智能穿戴设备、人机交互控制终端、触摸屏控制管理系统、微型扬声器模组，打造国家级声学产业基地。

　　威海。推动培育智能器件封测等项目，重点建设智能传感器封测生产线。提升完善国家级研究中心、创新创业园等创新载体，逐步构建高校、科研机构、企业一同参与的传感器产业链创新体系。

　　其他市。依托本地产业高质量发展基础和特色，突出差异化发展，重点在智能传感器材料、应用等领域开展布局,逐步做大产业规模。

　　1﹒推进智能传感器芯片设计。加强对智能传感器核心芯片，特别是基于MEMS工艺的芯片、ASIC芯片以及应用配套的算法和驱动程序等技术的自主研发，强化前沿技术战略布局。鼓励有突出贡献的公司加大芯片方面的研发投入及力度，有效打破技术壁垒，增强企业核心竞争力，提升智能传感器芯片国产化率。

　　2﹒推进智能传感器芯片制造。在符合国家集成电路政策要求下，重点推进智能传感器芯片生产制造，满足市场需求的迅速增加。围绕工业、交通、农业、医疗等智能化领域或场景，开展相关智能传感器的生产制造。重点发展特色工艺，补齐产业短板，着力突破硅基MEMS加工技术、MEMS与互补金属氧化物半导体（CMOS）集成、非硅模块化集成、砷化镓基激光传感芯片等工艺技术，持续提升工艺的一致性、稳定性。

　　3﹒推进智能传感器封装测试。持续攻关倒装互连、硅通孔互连、铜-铜互连等高密度互连技术，开发晶圆级芯片尺寸封装、晶圆扇出型封装、多种形式的2.5D/3D封装以及异质封装等先进封装技术，推动先进封装研发技术及产业化。

　　声学传感器。研发先进MEMS芯片技术，实现高信噪比，提升抗高频干扰能力。

　　压力传感器。重点支持研发以硅基MEMS结构为基础，具有高灵敏度、高分辨率、高可靠性的MEMS压力传感器芯片。

　　气体传感器。强化多学科、多领域的协同合作，打破高端电化学气体传感器和检验测试仪器仪表进口依赖。加快新型高性能气敏材料应用，改进生产的基本工艺，提升气体传感器产品精度。

　　温湿度传感器。以高精度、多功能、总线标准化、高可靠性及安全性为目的，以研制单片测温湿系统等为主攻方向，提升产业水平。

　　红外传感器。布局红外阵列传感器研发，提升监测范围和输出图像精度。推动红外热像仪产品研制与应用，实现非接触、直观、智能化、以及小型化移动式目标检测。

　　惯性传感器。研发工业级及汽车级中精度传感器产品，提升传感器精度、拓宽温区、增强抗冲击能力，布局高精度军用级和宇航级传感器产品。

　　生物医学传感器。研发生产灵敏、微型化、无创或者微创、互联性强的传感器产品，切入医疗监测、医学诊断、施药治疗、临床研究、药物研发、慢病管理、健身管理、食物检测等领域。

　　车载传感器。研发用于智能汽车的摄像头、毫米波雷达、激光雷达等环境感知传感器，满足无人驾驶的要求。

　　4﹒强化关键基础材料支撑。发挥资源优势，全力发展氮化铝、压电陶瓷等敏感材料，支持骨干企业研发无铅压电陶瓷材料制备技术，实现高性能、高稳定性、高可靠性以及可批量生产；研发用于气体传感器的超高灵敏度、超低功耗的石墨烯、氧化锆材料；研发具有巨磁阻效应的纳米级多层膜结构的磁材料。积极引进国内重点基础材料企业，稳步提升关键基础材料供应能力。

　　5﹒强化先进工艺技术支撑。依托龙头骨干企业，研发堆迭式差分MEMS芯片技术、多传感器集成的超小尺寸封装技术、超薄芯片的减薄及切割技术、超细间距倒装键合技术、高密度SMT工艺、电磁屏蔽技术和封装天线工艺等新型传感器设计制造工艺、集成创新与智能化技术，持续提升原创性研发能力。

　　6﹒强化传感器智能装备支撑。研发用于传感器封装、测试、视觉检测等关键环节的专用设备，积极引进国内领先的装备研发生产企业，增强设备的国产替代能力。

　　7﹒打造智能传感器推广示范工程。以应用需求为导向，推进智能传感器在汽车电子、消费电子、智慧海洋、工业控制、医疗电子等重点应用领域及工业生产流程中的应用及融合，通过智能传感器进行数据分析、采集、利用，打造智能化生产线，以示范带动应用，提升产业化水平。

　　汽车电子领域。依托重点有突出贡献的公司推广物联网、车联网等智能技术应用，形成更完善的交通感知体系。推动温度、压力、气体等传感器在发动控制管理系统、车身、底盘等的应用，增强稳定性，提高安全性。重点研发超声波、毫米波、混合固态激光雷达、摄像头、卫星定位、惯性导航等传感器，促进MEMS传感器与其他无人驾驶技术融合的智能感知技术发展。

　　消费电子领域。鼓励和支持消费电子有突出贡献的公司，紧扣市场需求，研发生产智能眼镜、智能手环、AR/VR硬件等可穿戴设备。鼓励和支持有突出贡献的公司，面向商务、教育、购物、旅游、健康、休闲娱乐等拓展在物联网领域应用，提升增值服务能力。

　　智慧海洋领域。加强对海洋信息感知传感器的研发制造，完善海洋信息采集与传输体系，重点应用具有自主知识产权的光电集成芯片级传感器，探索建立小型低成本的海洋浮动传感器网络，持续感知大范围海域。

　　工业控制领域。依托龙头骨干企业，突破一批关键技术，聚焦智能制造等环节，支持核心基础零部件（元器件）研发创新，提升产业基础高级化水平，推动智能传感产品在工业控制领域的应用。

　　医疗电子领域。鼓励和支持优势企业在医用监测设备、红外测温设备等产品上加大研发力度，提升公司在疾病诊断、治疗、急救、康复、预防和新型冠状病毒肺炎疫情体温筛查等方面提供医疗装备整体解决方案的能力。

　　工业互联网领域。突破传感器数据融合处理关键技术，增强数字控制机床、工业机器人、制造装备等深度感知和智慧决策能力，持续提升智能传感器在工业互联网领域的应用水平。

　　航空航天领域。突破新型MEMS智能传感器技术、极限环境特种传感器技术、高性能光学传感系统技术等，提升自主保障能力。推动微型化、芯片化、智能化传感器的应用，减轻航空航天器的重量、体积、功耗。

　　人工智能领域。布局面向AI应用场景的智能传感器研发及应用，突破面向云端训练、终端应用的神经网络芯片及配套工具，夯实AI产业发展的硬件基础。

　　8﹒构建多层次协同创新体系。加强智能传感器产业研究院建设，深化企业、高等院校及科研院所合作，加大关键共性技术、前沿引领技术、现代工程技术、颠覆性技术研发力度，搭建产学研用紧密结合的协同创新和成果转化平台。推动我省智能传感器生产企业、高校、科研院所等成立智能传感器产业联盟，推动协同创新。

　　9﹒强化公共服务平台建设。鼓励行业组织、产业园区、科研院所、龙头企业等建设传感器技术相关公共服务平台，重点支持建设覆盖智能传感器设计、制造、封装、测试、标准等公共服务平台，形成资源共享、优势互补的公共支撑服务体系。

　　10﹒鼓励产业链上下游协同发展。支持智能传感器设计企业与制造、封测企业等建立紧密合作关系，加快新设计、新工艺导入，缩短产品化周期，促进产业链上下游企业资源共享和优势互补，探索和完善多方协作、互利共赢的新型商业模式，推动产业链协同升级和产业生态完善。

　　11﹒加快培育创新型领军企业。选择一批优势明显、成长性好的重点企业，以项目承接、服务采购、资本运作、战略合作和品牌塑造等方式，加快培育成具有竞争力的创新型龙头企业。支持龙头企业在MEMS传感器及微系统、声学传感器、能源传感器、薄膜压力传感器、温湿度传感器等方面突破一批核心关键技术，引领产业创新发展。

　　12﹒分类培育创新型中小企业。针对智能传感器材料装备、设计、制造、封装、测试、终端集成等细分领域企业，以联盟合作、风险投资、规划咨询等形式，支持创新型企业孵化，降低企业研发和运行成本，形成融通发展的良好局面。

　　13﹒重点引进创新型优势企业。积极开展重大项目招商，重点引进一批拥有技术优势、品牌优势和市场优势的国内外知名物联网创新型企业，通过战略重组、技术转让和协作配套等方式与上下游企业建立紧密合作关系。鼓励各市强化双招双引，针对智能传感器产业链重点领域、关键节点，着重补齐补强，精准实施强链补链项目，推动智能传感器产业突破发展。

　　（一）完善工作机制。省工业和信息化厅会同省发展改革委、省科技厅等部门做好行动计划的组织实施和监督评估等工作，各有关部门按照职责分工，采取切实有效的政策措施，抓好重点任务落实。各市要结合本地实际，抓紧制定与行动计划相衔接的实施方案，落实相关配套政策。相关行业组织要充分发挥桥梁和纽带作用，协同推动行动计划的贯彻落实。有关部门、各地方、相关行业组织要加强智能传感器经验模式总结和宣传推广。

　　（二）优化资源配置。充分发挥财税政策的激励作用，进一步加大对智能传感器产业扶持力度。重点支持一批应用市场广、产业基础好、易于快速产业化的智能传感器项目，对高端芯片产前首轮流片费用给予补贴，对承担技术含量高的封装测试公共服务平台给予奖励。培育智能传感与控制首台（套）技术装备，运用保险补偿等政策，推动创新产品进入重点产业链供应体系。加强产融合作，鼓励社会资本通过多种方式进入智能传感器产业领域，引导智能传感器产业与金融资本深度合作，在银行信贷、发行债券、股权融资等方面为产业高质量发展提供资本支持，形成财政资金、金融资本、社会资金多方投入的新格局。

　　（三）集聚发展合力。强化规划引领作用，引导各类政策向智能传感器领域倾斜，营造具有比较优势的产业政策发展环境。成立智能传感器产业高质量发展专家咨询委员会，强化产业协作，形成发展合力。支持高等院校、科研院所、行业协会等加强与智能传感器企业间的产学研深度合作，促进科技成果产业化。鼓励智能传感器企业联合高校、科研院所等机构，制定行业标准，掌握市场话语权。

　　（四）强化人才供给。持续优化人才环境，依托泰山学者、泰山产业领军人才、引进顶尖人才“一事一议”等人才工程，积极引进海外领军人才和高端技术人才，支持有关技术中心、孵化创业中心、博士后工作站等建设，为高品质人才集聚提供载体。鼓励高等院校、科研机构依据需求和自身特色，联合公共服务平台和企业，建设跨学科的智能传感器综合人才教育培训基地，为企业输送高层次工艺人才和技术创新人才。鼓励示范性微电子学院人才培养向智能传感器方向倾斜。